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经营范围
发明名称
HORIZONTAL BATCH TYPE ALD
摘要
申请公布号
KR101173081(B1)
申请公布日期
2012.08.10
申请号
KR20100074298
申请日期
2010.07.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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