发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Bereitstellen von Eneregie zum Zünden und Aufrechterhalten eines Plasmas in einem reaktiven Gasgenerator
摘要 Es werden Verfahren und Vorrichtungen, einschließlich von Computerprogrammprodukten, zum Zünden und/oder Aufrechterhalten eines Plasmas in einem reaktiven Gasgenerator beschrieben. Einer Plasmazündschaltung wird Energie von einer Zündstromversorgung bereitgestellt. Es wird ein Vorzündsignal der Plasmazündschaltung gemessen. Die Energie, die für die Plasmazündschaltung bereitgestellt wird, wird auf der Grundlage des gemessenen Vorzündsignals und eines einstellbaren Vorzündsteuersignals eingestellt. Das einstellbare Vorzündsteuersignal wird eingestellt, nachdem ein Zeitintervall abgelaufen ist.
申请公布号 DE112009004435(T5) 申请公布日期 2012.08.09
申请号 DE200911004435T 申请日期 2009.04.13
申请人 MKS INSTRUMENTS INC. 发明人 BENZERROUK, SOUHEIL;NAGARKATTI, SIDDHARTH P.;COWE, ANDREW;SHAJII, ALI;AMBROSINA, JESSE E.;TRAN, KEN;CHEN, XING
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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