发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING THE VAPORIZATION OF ORGANIC MATERIAL
摘要
申请公布号 KR101172410(B1) 申请公布日期 2012.08.09
申请号 KR20077010468 申请日期 2005.11.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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