Reinigungsvorrichtung zur Reinigung von Reinigungsgut

摘要

Es wird eine Reinigungsvorrichtung (110) zur Reinigung von Reinigungsgut (112) vorgeschlagen. Die Reinigungsvorrichtung (110) weist mindestens eine Reinigungskammer (118) zur Aufnahme des Reinigungsguts (112) auf. Die Reinigungsvorrichtung (110) weist in der Reinigungskammer (118) mindestens eine Fluidquelle (128) zur Beaufschlagung des Reinigungsguts (112) mit mindestens einem Reinigungsfluid auf. Die Reinigungsvorrichtung (110) weist weiterhin mindestens eine Plasmaquelle (162, 164, 214, 218, 246, 248, 278) auf, welche eingerichtet ist, um mindestens ein Plasma in mindestens einem Gas zu zünden und mindestens ein Reaktivgas zu erzeugen. Die Reinigungsvorrichtung (110) ist eingerichtet, um das Reaktivgas mit zumindest einem Teil der Reinigungsguts (112) in Kontakt zu bringen.