发明名称
摘要
申请公布号 JP4993399(B1) 申请公布日期 2012.08.08
申请号 JP20120511480 申请日期 2011.05.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;C03C8/02;H01L21/329;H01L29/861;H01L29/868 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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