基于硅压阻技术的湿/湿放大式压差传感器的设计

摘要

本发明提供了使用在潮湿环境中的压力传感器。根据本发明，压力传感器组件具有壳体，该壳体具有被壁部件所分隔的一对腔体。继而被包含在一个腔体中的是传导弹性密封垫、压力传感器和弹性介质密封件。把压力帽连到壳体上，以致压力帽和壳体一起形成气密密封件。压力帽具有孔口，以允许气体在压力下进入第一腔体中。把信号放大器定位在第二腔体中并且把该信号放大器封在第二腔体中。穿过壁部件的电连接器形成在压力传感器和信号放大器之间的电连接。引线框穿过壳体延伸并且形成与压力传感器和信号放大器的电连接。

主权项

一种压力传感器组件，所述压力传感器组件包括：a)其中具有第一腔体和第二腔体的壳体，以及分隔所述第一腔体和所述第二腔体的壁部件；b)定位在所述第一腔体中的传导弹性垫；c)定位在所述传导弹性垫上的压力传感器；d)定位在所述压力传感器上的弹性介质密封件；e)在所述弹性介质密封件上的压力帽，所述压力帽连到所述壳体上，以致所述压力帽和所述壳体一起形成气密密封件，所述气密密封件防止气体穿过所述气密密封件逃逸或进入；所述压力帽还具有孔口，以允许气体在压力下穿过所述孔口进入所述第一腔体中；f)定位在所述第二腔体中的信号放大器，以及在所述第二腔体上的盖，所述盖把所述信号放大器封在所述第二腔体中；g)穿过所述壁部件的、形成位于所述压力传感器和所述信号放大器之间的电连接的电连接器；h)包括穿过所述壳体延伸的多个电连接器的引线框，所述引线框与所述压力传感器及所述信号放大器形成电连接。