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经营范围
发明名称
Gas spraying apparatus and substrate processing apparatus having the same
摘要
申请公布号
KR101172274(B1)
申请公布日期
2012.08.08
申请号
KR20100135727
申请日期
2010.12.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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