晶圆盒

摘要

提出一种晶圆盒。提出的晶圆盒包括一对端板和多根轻量支承杆，一对端板设置既定间隔，相向配置，多根轻量支承杆两端固定于上述端板，相互平行配置，用于支承晶圆的侧面及底面；上述轻量支承杆包括：至少在一处以上形成了加强槽的非金属材质的心材、压入上述加强槽的加强构件、嵌件注塑包裹住上述心材表面的非金属材质的表材；在上述心材的两端，结合着在外周面形成有螺纹的无头螺杆，在上述端板的与上述无头螺杆对应的部位，使与上述无头螺杆连结的连结螺母埋入端板厚度内进行设置。

主权项

一种晶圆盒，包括一对端板和多根轻量支承杆，一对端板设置既定间隔，相向配置，多根轻量支承杆两端固定于上述端板，相互平行配置，用于支承晶圆的侧面及底面，其特征在于，上述轻量支承杆包括：至少在一处以上形成了加强槽的非金属材质的心材、压入上述加强槽的加强构件、嵌件注塑包裹住上述心材表面的非金属材质的表材；在上述心材的两端，结合着在外周面形成有螺纹的无头螺杆，在上述端板的与上述无头螺杆对应的部位，使与上述无头螺杆连结的连结螺母埋入端板厚度内进行设置。