正型感光性组合物、正型永久抗蚀膜及正型永久抗蚀膜的制造方法

摘要

提供可赋予不仅透明性高、且耐基板制作时的温度的耐热性、耐溶剂性及作为永久抗蚀膜的耐经时变化性优异的绝缘层的正型感光性组合物、使用该正型感光性组合物的正型永久抗蚀膜及正型永久抗蚀膜的制造方法。提供含有(A)具有硅烷醇基的固化性硅酮树脂、(B)重氮萘醌类及(C)溶剂的正型感光性组合物、使用该正型感光性组合物的正型永久抗蚀膜及正型永久抗蚀膜的制造方法，所述(A)具有硅烷醇基的固化性硅酮树脂为下述通式(1)所表示的环状硅氧烷化合物的1种以上与下述通式(2)所表示的芳基烷氧基硅烷化合物的1种以上反应而获得的结构。

主权项

1.一种正型感光性组合物，其特征在于，其含有(A)具有硅烷醇基的固化性硅酮树脂、(B)重氮萘醌类及(C)溶剂，所述(A)具有硅烷醇基的固化性硅酮树脂通过下述通式(1)所表示的环状硅氧烷化合物与下述通式(2)所表示的芳基烷氧基硅烷化合物反应而获得，式中，R¹、R⁴及R⁷为相同或不同的碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的环烷基或碳原子数1～10的芳基，R²、R⁵及R⁸相同或不同，为可具有取代烃基的碳原子数1～10的亚烷基，所述取代烃基为甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、叔丁基、苯基，R³及R⁶为相同或不同的碳原子数1～4的烷基，e为0或1～4的数，g为1～3的数，e+g不超过5，h为0或1～4的数，i为1～3的数，h+i不超过5，R⁹为相同或不同的碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的环烷基，R¹⁰为碳原子数1～3的烷基，j为1～3的数，m、n及q为m∶n∶q＝1∶0～2∶0.5～3、且m+n+q＝3～6的数；式中，R¹¹为相同或不同的碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的环烷基，R¹²为碳原子数1～3的烷基，R¹³为相同或不同的碳原子数1～4的烷基，r为1～3的数，u为0或1～5的数。