一种QSFP模块子单元的制造方法

摘要

本发明涉及微电子、光电子器件技术领域，本发明公开了一种QSFP模块子单元的制造方法，其包含以下步骤：步骤1，在子板（201）上将发射端反射镜（202）和接收端反射镜（203）预固定；步骤2，在母板（204）上刻蚀形成第一凹坑（206）和第二凹坑（207）；步骤3，在第一凹坑（206）和第二凹坑（207）的内壁底面涂覆固定层（205）；步骤4，通过掩膜板在不需要刻蚀的地方加以保护，再整体刻蚀，形成光波导层（304）。此种方法制造的QSFP模块子单元可大规模生产，加工工艺与现有微电子工艺兼容。

主权项

一种QSFP模块子单元的制造方法，其包含以下步骤：步骤1，在子板（201）上将发射端反射镜（202）和接收端反射镜（203）预固定，发射端反射镜（202）、接收端反射镜（203）中带有反射面的表面和子板（201）接触； 步骤2，在母板（204）上刻蚀形成第一凹坑（206）和第二凹坑（207），所述第一凹坑（206）的长、宽、高均大于发射端反射镜（202）的长、宽、高，所述第二凹坑（207）的长、宽、高均大于接收端反射镜（203）的长、宽、高；所述第一凹坑（206）、第二凹坑（207）的位置分布和发射端反射镜（202）、接收端反射镜（203）的位置分布相对应；步骤3，在第一凹坑（206）和第二凹坑（207）的内壁底面涂覆固定层（205），所述固定层（205）用于将发射端反射镜（202）和接收端反射镜（203）固定在母板（204）上的第一凹坑（206）和第二凹坑（207）中，将发射端反射镜（202）和接收端反射镜（203）转移到第一凹坑（206）和第二凹坑（207）中；步骤4，通过掩膜板在不需要刻蚀的地方加以保护，整体刻蚀，形成光波导层（304）。