| 发明名称 |
COMPOSITIONS AND METHODS OF USE FOR FORMING TITANIUM-CONTAINING THIN FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20120088652(A) |
申请公布日期 |
2012.08.08 |
| 申请号 |
KR20127004497 |
申请日期 |
2010.07.19 |
| 申请人 |
SIGMA-ALDRICH CO., LLC |
发明人 |
HEYS PETER NICHOLAS;ODEDRA RAJESH;KINGSLEY ANDREW |
| 分类号 |
C23C16/40;C07B63/04;C23C16/448;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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