光栅刻线缺陷检验装置

摘要

光栅刻线缺陷检验装置，涉及一种光栅刻线缺陷检验装置，解决现有光栅尺制造过程中主尺存在污点和前后相位不一致等情况，靠人工无法完成光栅尺检验的问题，本发明的第一移位驱动装置驱动信号探测头沿检测方向运动，信号探测头检测到光源发出的，并被待测光栅和标准光栅调制的光，并由光电探测器转化为电信号，由信号处理模块进行放大处理和模数转换，最后由脉冲检测模块通过脉冲信号检测刻划缺陷和复制缺陷的存在及其位置，第二移位驱动装置移动标准光栅位置，重复以上处理，直到检测完毕，本发明用于测量长度的光栅尺的长光栅的缺陷和刻线均匀性检测和相位一致性检测。

主权项

光栅刻线缺陷检验装置，该装置包括标准光栅(3)、信号探测头(1)、第一移位驱动装置(7)、第二移位驱动装置(9)、信号处理模块(8)和脉冲检测模块(10)；其特征是，所述第一移位驱动装置(7)沿标准光栅(3)的长度扫描方向移动信号探测头(1)，所述信号探测头(1)记录调制后的光强信息，第二移位驱动装置(9)用于驱动标准光栅(3)的移动位置，所述信号处理模块(8)接收第一移位驱动装置(7)的位移信息、信号探测头(1)输出的光强信息和第二移位驱动装置(9)输出的标准光栅(3)的位置信息；并将所述位置信息进行信号放大和数模转换处理，输出至脉冲检测模块(10)；所述脉冲检测模块(10)对接收的信号进行检测，分析待测光栅(4)刻线缺陷的位置信息。