一种液相法生产高纯电子级氟化铵蚀刻液的方法

摘要

本发明公开了一种液相法生产高纯电子级氟化铵蚀刻液的方法，将质量百分浓度为49～70％的高纯HF水溶液和质量百分浓度为27～33％的高纯氨水溶液，按质量比1∶1.3～2.3进行中和反应，控制反应温度为10～50℃，至反应液PH值为6～7时结束反应，过滤去除粒径大于0.2微米的颗粒杂质后，即得到质量百分浓度为40±0.2％的高纯电子级氟化铵蚀刻液，本发明生产效率高、安全环保、产品质量稳定，各金属离子含量分别小于0.1ppb，大于0.2微米的颗粒杂质为20PCS/ml以内，大于0.3微米的颗粒杂质为10PCS/ml以内，大于0.5微米的颗粒杂质为2PCS/ml以内。

主权项

一种液相法生产高纯电子级氟化铵蚀刻液的方法，其特征在于将质量百分浓度为49～70％的高纯HF水溶液和质量百分浓度为27～33％的高纯氨水溶液，按质量比1∶1.3～2.3进行中和反应，控制反应温度为10～50℃，至反应液PH值为6～7时结束反应，过滤去除颗粒杂质后，即得到质量百分浓度为40±0.2％的高纯电子级氟化铵蚀刻液。