发明名称 压电元件、角速度传感器、以及压电元件的制造方法
摘要 本发明提供压电特性和耐热性优良的压电元件、角速度传感器以及压电元件的制造方法。压电元件包括压电膜和电极膜。压电膜由Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+X表示的锆钛酸铅构成,其中,X大于等于0且小于等于0.3,Y大于等于0且小于等于0.55,压电膜具有拉伸应力。电极膜将电压施加给压电膜。
申请公布号 CN101436642B 申请公布日期 2012.08.08
申请号 CN200810181471.1 申请日期 2008.11.14
申请人 索尼株式会社 发明人 小池伸幸;田村孝
分类号 H01L41/08(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I;G01P3/44(2006.01)I 主分类号 H01L41/08(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 余刚;吴孟秋
主权项 一种压电元件,包括:压电膜,由Pb1+X(ZrYTi1‑Y)O3+X表示的锆钛酸铅构成,其中,X大于等于0且小于等于0.3,并且Y大于等于0且小于等于0.55,所述压电膜具有拉伸应力,并且所述压电膜的所述拉伸应力大于等于50MPa且小于等于500MPa;以及电极膜,将电压施加给所述压电膜。
地址 日本东京