发明名称 |
压电元件、角速度传感器、以及压电元件的制造方法 |
摘要 |
本发明提供压电特性和耐热性优良的压电元件、角速度传感器以及压电元件的制造方法。压电元件包括压电膜和电极膜。压电膜由Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+X表示的锆钛酸铅构成,其中,X大于等于0且小于等于0.3,Y大于等于0且小于等于0.55,压电膜具有拉伸应力。电极膜将电压施加给压电膜。 |
申请公布号 |
CN101436642B |
申请公布日期 |
2012.08.08 |
申请号 |
CN200810181471.1 |
申请日期 |
2008.11.14 |
申请人 |
索尼株式会社 |
发明人 |
小池伸幸;田村孝 |
分类号 |
H01L41/08(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I;G01P3/44(2006.01)I |
主分类号 |
H01L41/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
余刚;吴孟秋 |
主权项 |
一种压电元件,包括:压电膜,由Pb1+X(ZrYTi1‑Y)O3+X表示的锆钛酸铅构成,其中,X大于等于0且小于等于0.3,并且Y大于等于0且小于等于0.55,所述压电膜具有拉伸应力,并且所述压电膜的所述拉伸应力大于等于50MPa且小于等于500MPa;以及电极膜,将电压施加给所述压电膜。 |
地址 |
日本东京 |