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发明名称 POSITIVE-WORKING PHOTOIMAGEABLE BOTTOM ANTIREFLECTIVE COATING
摘要
申请公布号 EP2483745(A1) 申请公布日期 2012.08.08
申请号 EP20090764034 申请日期 2009.11.12
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 PADMANABAN, MUNIRATHNA;CHAKRAPANI, SRINIVASAN;HOULIHAN, FRANCIS, M.;MIYAZAKI, SHINJI;NG, EDWARD, W.;NEISSER, MARK, O.
分类号 G03F7/09 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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