基于光子晶体滤波片的微流控芯片荧光检测系统

摘要

一种基于光子晶体滤波片的微流控芯片荧光检测系统，包括集成有光子晶体滤波片的发光二极管(LED)激发光源、微流控芯片、光纤、集成有光子晶体滤波片的光电探测器等。其通过在微流控芯片荧光检测系统的LED激发光源和光电探测器的顶部集成光子晶体滤波片，取代分离的激发光滤波片和发射光滤波片，对激发光源中覆盖荧光区域的干扰光进行滤除。本发明实现了滤波片与LED激发光源和光电探测器的集成，进一步提高了检测系统的便携性和集成度。

主权项

一种基于光子晶体滤波片的微流控芯片荧光检测系统，包括激发光源、微流控芯片、光纤、光电探测器、高压电源和计算机；其特征在于：所述激发光源采用光子晶体滤波片集成发光二极管(LED)，所述光电探测器采用光子晶体滤波片集成光电二极管(PD)，光子晶体滤波片集成LED激发光源和PD探测器结构是在衬底上先生长一层2μm的基于III‑V族半导体材料的n型层，再生长一层反光层，然后生长一层基于III‑V族半导体材料的有源层，最后生长一层200‑300nm厚的基于III‑V族半导体材料的p型层；最后通过刻蚀工艺，在p型层刻蚀出平板光子晶体滤波片图样。