发明名称 |
压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟 |
摘要 |
本发明提供抑制制造工时的增加、制造效率的下降、及振动特性的变动,并且能在压电板上均匀地形成覆膜图案的压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。其特征在于:利用形成装置(71)进行光刻胶膜形成工序,该形成装置(71)具有朝着圆片(S)上的金属膜(43)产生气流而将抗蚀剂材料喷雾的喷雾器(73)、和配置在工件托盘(72)及圆片(S)之间的多个间隔部(74)。 |
申请公布号 |
CN102629857A |
申请公布日期 |
2012.08.08 |
申请号 |
CN201210033002.1 |
申请日期 |
2012.02.07 |
申请人 |
精工电子有限公司 |
发明人 |
色川大城 |
分类号 |
H03H3/02(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I;G04C9/02(2006.01)I |
主分类号 |
H03H3/02(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
何欣亭;王忠忠 |
主权项 |
一种压电振动片的制造方法,其中包括:掩模形成工序,对形成在压电板上的覆膜涂敷掩模材料,从而在所述覆膜上形成掩模;掩模图案形成工序,对所述掩模进行构图而形成掩模图案;以及覆膜图案形成工序,除去所述掩模图案的形成区域以外的区域的所述覆膜,形成覆膜图案,其特征在于,利用掩模形成装置进行所述掩模形成工序,该掩模形成装置具有:喷雾器,向所述覆膜产生气流而喷雾所述掩模材料;以及通气单元,使所述气流向相对所述压电板而言与所述喷雾器相反的一侧流通。 |
地址 |
日本千叶县千叶市 |