用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器及使用方法

摘要

本发明公开了一种用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器，包括夹持器，在所述夹持器的上方设置有籽晶轴联接装置；其特征是：所述夹持器内设置有上下贯通的空腔，所述空腔下方设置有硅籽晶夹持口；所述夹持器的侧壁上设置有至少一个的定位销孔，所述定位销孔依次贯穿夹持器的左侧壁、空腔以及夹持器的右侧壁；相对应于定位销孔的形状，在定位销孔内设置有定位销，所述定位销依次贯穿夹持器左侧的定位销孔、空腔和夹持器右侧的定位销孔；所述夹持器的外侧壁上设置有定位销固定器，所述定位销固定器将定位销与夹持器固定。

主权项

用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器，包括夹持器（1），在所述夹持器（1）的上方设置有籽晶轴联接装置（11）；其特征是：所述夹持器（1）内设置有上下贯通的空腔（23），所述空腔（23）下方设置有硅籽晶夹持口（22）；所述夹持器（1）的侧壁上设置有至少一个的定位销孔（24），所述定位销孔（24）从左至右依次贯穿夹持器（1）的左侧壁、空腔（23）以及夹持器（1）的右侧壁；相对应于定位销孔（24），在定位销孔（24）内设置有定位销（4），所述定位销（4）依次贯穿夹持器（1）左侧的定位销孔（24）、空腔（23）和夹持器（1）右侧的定位销孔（24）；所述夹持器（1）的外侧壁上设置有定位销固定器，所述定位销固定器将定位销（4）与夹持器（1）固定。