发明名称 抗氧化修整熔丝的方法
摘要 本发明的抗氧化修整熔丝的方法包括以下步骤:测量熔丝探针的阻抗;判断熔丝探针的阻抗是否大于上限值,如果是,清理熔丝探针,再回到上述步骤,如果否,执行下述步骤;根据公式V=R×I设定熔丝电路的输出电压,其中,V表示熔丝电路的输出电压,R表示熔丝探针的阻抗,I表示熔丝熔断电流;熔断选定的熔丝。本发明的抗氧化修整熔丝的方法可提高熔断熔丝的成功率,使得熔断熔丝的成功率趋于稳定;使用本发明抗氧化修整熔丝的方法可延长熔丝探针的使用寿命。
申请公布号 CN101908524B 申请公布日期 2012.08.08
申请号 CN201010216521.2 申请日期 2010.06.30
申请人 上海华岭集成电路技术有限责任公司 发明人 岳小兵;祁建华;刘远华;汪瑞祺;张志勇;叶守银;牛勇
分类号 H01L23/525(2006.01)I;G01R27/02(2006.01)I 主分类号 H01L23/525(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 郑玮
主权项 一种抗氧化修整熔丝的方法,其特征在于,包括以下步骤:实时测量熔丝探针的阻抗;判断熔丝探针的阻抗是否大于上限值,如果是,清理熔丝探针,再回到上述步骤,如果否,执行下述步骤;根据公式V=R×I灵活选择熔丝电路的输出电压,其中,V表示熔丝电路的输出电压,R表示熔丝探针的阻抗,I表示熔丝熔断电流;按照选定的熔丝电路的输出电压熔断选定的熔丝。
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