一种用于化学气相沉积的储气罐水浴加热装置

摘要

本实用新型涉及一种用于化学气相沉积的储气罐水浴加热装置，包括外壳和加热源，在外壳顶中部设置有供盛放储气罐用的罐体槽，所述外壳与罐体槽封闭连接形成中空腔，在所述外壳顶部或侧壁上部设置有进水口，在外壳侧壁上部设置溢水口，在所述外壳的侧壁底部设置有出水口；所述的加热源设置在所述外壳的外部或所述中空腔内。本实用新型通过液体介质向储气罐壁传递热量，避免电加热器与储气罐直接接触而出现储气罐局部过热的现象；所述的罐体槽与储气罐外形相适应，使储气罐内的气体受热均匀，加热速度趋缓易控，杜绝危险事故的发生。

主权项

一种用于化学气相沉积的储气罐水浴加热装置，其特征在于，包括外壳和加热源，在外壳顶中部设置有盛放储气罐用的罐体槽，所述罐体槽与外壳封闭连接形成中空腔，在所述外壳顶部或侧壁上部设置有进水口，在外壳侧壁上部设置溢水口，在所述外壳的侧壁底部设置有出水口。