| 发明名称 | 铝垫电化学刻蚀方法 | ||
| 摘要 | 本发明揭露了一种铝垫电化学刻蚀方法，利用电化学刻蚀方式代替了传统的干法刻蚀来实现铝垫(Al pad)刻蚀工艺中铝的刻蚀，从而避免了传统工艺中聚合物的生成，解决了因其产生的铝腐蚀与残留物问题。其中该电化学刻蚀所采用的电解液包括乙醇(CH3CH2OH)、磷酸(H3PO4)和水(H2O)，且乙醇(CH3CH2OH)所占的比率为15％～25％，磷酸(H3PO4)所占的比率为20％～30％。 | ||
| 申请公布号 | CN101591797B | 申请公布日期 | 2012.08.08 |
| 申请号 | CN200810038385.5 | 申请日期 | 2008.05.30 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 周鸣;王新鹏 |
| 分类号 | C25F3/04(2006.01)I | 主分类号 | C25F3/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种铝垫刻蚀工艺中铝的刻蚀方法，其特征是，采用电化学刻蚀方式实现对铝的刻蚀，其中该电化学刻蚀所采用的电解液包括乙醇(CH3CH2OH)、磷酸(H3PO4)和水(H2O)，且乙醇(CH3CH2OH)的体积分数为15％～25％，磷酸(H3PO4)的体积分数为20％～30％。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||