发明名称
摘要
申请公布号 JP4993730(B2) 申请公布日期 2012.08.08
申请号 JP20070250689 申请日期 2007.09.27
申请人 发明人
分类号 C23C14/02;C23F4/00;C23G5/028;H01G9/055 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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