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发明名称
摘要
申请公布号 JP4993610(B2) 申请公布日期 2012.08.08
申请号 JP20070544131 申请日期 2006.11.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;C23C16/455;H01L21/3065 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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