发明名称 具有多孔电介质隔膜的静电压力传感器
摘要 本发明公开了一种压力传感器(10),所述压力传感器(10)包括:容纳处于第一压力下的填充流体(14)的第一压力室(12);容纳处于第二压力的填充流体(14)的第二压力室(13);多孔电介质隔膜(11),所述多孔电介质隔膜具有暴露给第一和第二压力室(12,13)的第一和第二主要表面(15,16);和关于第一和第二主要表面(15,16)定位的第一和第二电极(19A,19B,20A,20B)。本发明还公开了一种用于检测压力的方法,所述方法包括以下步骤:将第一和第二压力施加到具有多孔电介质隔膜(11)的压力传感器(10)的第一和第二压力室(12,13);和产生表征作为多孔电介质隔膜(11)的第一和第二主要表面(15,16)上的表面电荷的函数的压力之间的压差的输出。
申请公布号 CN101680814B 申请公布日期 2012.08.08
申请号 CN200880020495.7 申请日期 2008.05.14
申请人 罗斯蒙德公司 发明人 斯瓦潘·查克拉波尔迪
分类号 G01L9/00(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I 主分类号 G01L9/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 王新华
主权项 一种压力传感器,包括:第一压力室,所述第一压力室容纳处于第一压力的填充流体;第二压力室,所述第二压力室容纳处于第二压力的填充流体;多孔电介质隔膜,所述多孔电介质隔膜具有暴露于所述第一压力室的第一主要表面和暴露于所述第二压力室的第二主要表面;第一接触电极,所述第一接触电极与所述第一主要表面接触定位;和第二接触电极,所述第二接触电极与所述第二主要表面接触定位;其中,通过在多孔电介质隔膜的第一主要表面和第二主要表面上生成电势而在第一接触电极和第二接触电极上感生电势信号。
地址 美国明尼苏达州