一种大口径高陡度光学镜面在线测量系统

摘要

一种大口径高陡度光学镜面在线测量系统，包括光纤光源、会聚光路分光系统、可更换式测量光栅、高精度平面反射镜、大口径高陡度光学镜面、数字CCD、计算机信息处理系统。从数值孔径光纤光源发出的光，通过测量光栅后产生一组阴影条纹，这些阴影条纹在经过会聚光路分光系统及高精度平面反射镜后投影到大口径高陡度光学镜面上，而后又被大口径高陡度光学镜面按原光路反射回去，再次经过高精度平面反射镜及会聚光路分光系统时产生另一束光路，并在这束光路中产生出这个光源的共额像。这个像通过数字CCD采集后传输到计算机，由计算机信息处理系统来进行分析处理，通过比较反射回的像与理想像之间的偏差计算出这个大口径高陡度光学镜面面形误差。

主权项

一种大口径高陡度光学镜面在线测量系统，其特征在于包括：大数值孔径光纤光源(1)、可更换式测量光栅(2)、会聚光路分光系统(3)、高精度平面反射镜(4)、大口径高陡度光学镜面(5)、数字彩色CCD(6)、计算机信息处理系统(7)；从大数值孔径光纤光源(1)发出的光将可更换式测量光栅(2)的阴影经过会聚光路分光系统(3)后，由一块45°放置的高精度平面反射镜(4)反射到与加工状态相一致的大口径高陡度光学镜面(5)上，高精度平面反射镜(4)将光路折转90°，随后，这组阴影被大口径高陡度光学镜面(5)沿着原来入射的光路反射回去，再次经过高精度平面反射镜(4)后又经过会聚光路分光系统(3)，并由会聚光路分光系统(3)产生一条垂直于原光束方向的新光路，并产生一个大数值孔径光纤光源(1)共轭像点，这个像点的图像经过数字彩色CCD(6)采集后，进入计算机信息处理系统(7)，由于所述像点包含了大口径高陡度光学镜面(5)的面形信息，最后由安装在计算机信息处理系统(7)上的数据处理部分把共轭像点对应的面形数据信息提取出来，从而获得被测大口径高陡度光学镜面(5)的面形信息；所述的会聚光路分光系统(3)由五个独立的光学元件相互胶合而形成；在所述五个独立的光学元件中，有两块是等腰直角棱镜，二者的斜边相互胶合在一起，形成一块分光立方体；另外有两块是平凹透镜，二者形状完全相同；两块平凹透镜的平面分别与两块等腰直角棱镜胶合而成的立方体的相邻两个表面胶合，一个凹面对着大数值孔径光纤光源，另一个对着大数值孔径光纤光源的像点；最后一块是平凸透镜，所述平凸透镜的平面与所述两块等腰直角棱镜胶合而成的立方体另外的一个表面胶合，所述另外的一个表面为与高精度平面反射镜相对的表面，假设平凸透镜的凸面半径为R2，中心厚度为D2；两块等腰直角棱镜胶合而成立方体的边长为A，平凹透镜的凹面半径为R1，中心厚度为D1，则它们之间的几何关系为：R2＝R1+D1+D2+A。