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发明名称
摘要
申请公布号
JP4997872(B2)
申请公布日期
2012.08.08
申请号
JP20060225140
申请日期
2006.08.22
申请人
发明人
分类号
H01L29/792;H01L21/336;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788
主分类号
H01L29/792
代理机构
代理人
主权项
地址
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