用于加工工件的致动器及包括该致动器的装置

摘要

一种具有刀架和致动器的刀具组件，所述刀架能够沿待切削工件横向运动，所述致动器带有刀头。所述致动器对所述刀头在朝向所述工件的X方向上以两个并存的独立的速度的运动提供可变控制，以便在所述工件中制造微结构。

主权项

一种用于加工工件的双串联致动器，包括：主体，其具有孔，所述孔具有位于所述主体中的开口；桨状物，其具有第一侧和与所述第一侧相背对的第二侧；刀头座，其具有用于安装刀头的表面；第一压电堆，其与所述桨状物的第一侧相连；以及第二压电堆，其具有与所述桨状物的第二侧相连的第一端、以及与所述刀头座相连并与所述第一端相对的第二端；其中，经由所述桨状物相连的第一压电堆和第二压电堆固定在所述主体的孔中并且受到预加负荷；所述第一压电堆使所述刀头座沿着与待加工的工件的表面大致垂直的X方向移动，所述第二压电堆独立于所述第一压电堆的移动使所述刀头座沿着与所述工件的表面大致垂直的X方向移动。