电磁式超声换能器及其阵列

摘要

一种电磁式超声换能器及其阵列。该电磁式超声换能器包括置于支撑体上的弹性板、弹性板上的导磁体、以及可使导磁体振动的磁场体，其中，导磁体的厚度为微米级。弹性板的厚度也可为微米级的。本发明电磁式超声换能器能够产生高频声波，可用于进行超声治疗。其阵列由多个上述超声换能器组成，可以任意分组，并可灵活控制多个超声换能器阵元。

主权项

一种电磁式超声换能器阵列，其特征在于包含有多个电磁式超声换能器，所述每个电磁式超声换能器包括支撑体(8)、置于支撑体上的弹性板、弹性板上的导磁体、以及可使导磁体振动的磁场体，所述支撑体(8)形状为凹形，弹性板的两端通过弹性固定材料(5)固定在支撑体端头的两个凸部上，使支撑体中间的凹处形成气穴(10)，所述导磁体的厚度为微米级，所述导磁体为弹性线圈，所述弹性线圈为采用半导体光刻及化学腐蚀技术制作而成的光刻线圈(14)，支撑体(8)采用非导磁材料制成，磁场体置于支撑体(8)下方，磁场体采用缠绕有线圈(2)的软磁体、以及直流电源(4)，各电磁式超声换能器中的磁场体合为一体后，通过线圈(2)与直流电源(4)连接，各电磁式超声换能器中的支撑体连为一体，各电磁式超声换能器中的光刻线圈(14)并联后与一交流电源连接。