发明名称 | 一种气相沉积用导流防尘控气盘 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种气相沉积用导流防尘控气盘,包括顶盖和侧壁,所述的侧壁的上端与顶盖外边缘固定连接,围成喇叭状结构;所述侧壁的底端敞口为控气盘气体进入端,在所述侧壁上设有水平出气通孔,在侧壁的下端外边缘水平设置有唇边。本实用新型的导流防尘控气盘整体呈喇叭状,反应气体通过控气盘气体进入端进入控气盘,并沿所述的水平出气通孔喷出,而炉口落下的杂质颗粒却被本控气盘阻挡,沉积于唇边与炉壁之间的空隙中,保证了SiC涂层产品的性能和质量。出气孔水平设置也有效地避免了由于杂质颗粒的沉落而产生的堵塞。 | ||
申请公布号 | CN202369640U | 申请公布日期 | 2012.08.08 |
申请号 | CN201120502566.6 | 申请日期 | 2011.12.06 |
申请人 | 刘汝强 | 发明人 | 刘汝强 |
分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人 | 吕利敏 |
主权项 | 一种气相沉积用导流防尘控气盘,其特征在于,包括顶盖和侧壁,所述的侧壁的上端与顶盖外边缘固定连接,侧壁整体成喇叭状;在所述侧壁上设有水平出气通孔,在侧壁的底端外边缘水平设置有唇边;所述侧壁的底端敞口为控气盘气体进入端,反应气体通过该控气盘气体进入端进入控气盘,并沿所述侧壁上的水平出气通孔喷出。 | ||
地址 | 251200 山东省德州市禹城市南环东路88号 |