包含热解法氧化锌层的层状复合体和包含该复合体的场效应晶体管

摘要

本申请公开了层状复合体，其包含介电层和包含热解法氧化锌并与所述介电层结合的层。本申请还公开了生产层状复合体的方法，其中，将热解法氧化锌以氧化锌颗粒的平均聚集体直径小于200nm的分散体的形式涂布于介电层，并干燥所述氧化锌层，然后在低于200℃的温度下处理所述氧化锌层。本申请还公开了生产层状复合体的方法，其中，将热解法氧化锌以氧化锌颗粒的平均聚集体直径小于200nm的分散体的形式涂布于衬底层或复合衬底层以形成氧化锌层，然后在低于200℃的温度下处理所述氧化锌层和所述衬底层，然后将介电层涂布于所述氧化锌层。本申请还公开了场效应晶体管，其具有所述层状复合体。

主权项

层状复合体，其包含介电层和包含热解法氧化锌并与所述介电层结合的层，所述热解法氧化锌通过在火焰中氧化锌或锌化合物形成，所述火焰由含氢燃烧气体和含氧气体的反应产生，所述层状复合体通过将热解法氧化锌以分散体的形式涂布于所述介电层，以在所述介电层上形成氧化锌层，然后在低于200℃的温度下热处理所述氧化锌层和介电层，其中所述分散体中氧化锌颗粒的平均聚集体直径小于200nm。