发明名称 METHODS FOR FORMING INTERCONNECT STRUCTURES IN INTEGRATED CIRCUIT DEVICES
摘要
申请公布号 EP1639635(B1) 申请公布日期 2012.08.08
申请号 EP20040766050 申请日期 2004.06.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 WILLE, WILLIAM;EDELSTEIN, DANIEL;COTE, WILLIAM;BIOLSI, PETER;FRITCHE, JOHN;UPHAM, ALLAN
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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