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发明名称
Chamber line
摘要
申请公布号
KR101171758(B1)
申请公布日期
2012.08.07
申请号
KR20100094156
申请日期
2010.09.29
申请人
发明人
分类号
C23C16/458;C23C16/44;C23C16/52;H01L21/677
主分类号
C23C16/458
代理机构
代理人
主权项
地址
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