发明名称 Vía de interconexión de baja resistencia a través de una oblea
摘要 Una oblea (3) que comprende una vía (7) de interconexión a través de la oblea desde una cara superior (4)hasta una cara inferior (5) de la oblea (3), en la que la vía (7) de interconexión a través de la oblea comprendeun agujero (9) de interconexión a través de la oblea que tiene una pared lateral (11) cubierta parcialmente almenos con un primer revestimiento conductor (25), en la que el agujero (9) de interconexión a través de laoblea comprende al menos una primera porción (13) y una segunda porción (14) que forma un estrechamiento(23) con al menos una pared lateral inclinada superior (20) que se ensancha hacia fuera hacia la cara superioren el agujero (9) de interconexión a través de la oblea caracterizada porque dicha primera porción tiene unapared lateral sustancialmente vertical (16).
申请公布号 ES2386008(T3) 申请公布日期 2012.08.07
申请号 ES20080767260T 申请日期 2008.06.27
申请人 AAC MICROTEC AB 发明人 NILSSON, PETER
分类号 H01L23/48;B81B7/00;H01L21/768;H01L23/52;H05K3/40;H05K3/42 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
主权项
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