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发明名称
UNIT FOR TRANSFERRING A SUBSTRATE AND APPARATUS FOR PROCEEDING A SUBSTRATE HAVING THE SAME
摘要
申请公布号
KR101170946(B1)
申请公布日期
2012.08.07
申请号
KR20090113090
申请日期
2009.11.23
申请人
发明人
分类号
B65G49/06;B65G13/06;B65G39/10;H01L21/677
主分类号
B65G49/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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