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Eine vergrößernde abbildende Optik (7) hat höchstens vier Spiegel (M1 bis M4), die über einen Abbildungsstrahlengang (8), der Abbildungs-Teilstrahlen (25, 19, 20) zwischen den im Abbildungsstrahlengang (8) benachbarten Spiegeln (M1 bis M4) aufweist, ein Objektfeld (6) in einer Objektebene (11) in ein Bildfeld (9) in einer Bildebene (12) abbilden. Die Optik (7) ist so ausgelegt ist, dass ein erster Abbildungs-Teilstrahl (19) zwischen einem im Abbildungsstrahlengang (8) zweiten Spiegel (M2) und einem im Abbildungsstrahlengang (8) dritten Spiegel (M3) und ein zweiter Abbildungs-Teilstrahl (20) zwischen dem im Abbildungsstrahlengang (8) dritten Spiegel (M3) und einem im Abbildungsstrahlengang (8) vierten Spiegel (M4) jeweils mindestens eine Durchgangsöffnung (21) in einem Spiegelkörper (22) eines im Abbildungsstrahlengang (8) ersten Spiegels (M1) durchtreten. Nach einem weiteren Aspekt hat die Optik eine Baulänge T, die höchstens 1300 mm beträgt und ein Verhältnis T/&bgr; aus der Baulänge T und einem Abbildungsmaßstab &bgr;, das kleiner ist als 1,5. Es resultiert eine abbildende Optik, die erhöhten Anforderungen an die Kompaktheit und die Transmission der abbildenden Optik, insbesondere bei gegebenem Abbildungsmaßstab, Rechnung trägt.
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