发明名称 Verarbeitungsflüssigkeit zur Unterdrückung eines Musterzusammenbruchs einer feinen Metallstruktur und Verfahren zur Herstellung einer feinen Metallstruktur, bei dem diese eingesetzt wird
摘要 Es werden eine Verarbeitungsflüssigkeit zur Unterdrückung eines Musterzusammenbruchs einer feinen Metallstruktur, die mindestens eine Verbindung enthält, die aus einem Imidazoliumhalogenid mit einer Alkylgruppe, die 12, 14 oder 16 Kohlenstoffatome enthält, einem Pyridiniumhalogenid mit einer Alkylgruppe, die 14 oder 16 Kohlenstoffatome enthält, einem Ammoniumhalogenid mit einer Alkylgruppe, die 14, 16 oder 18 Kohlenstoffatome enthält, einer Betainverbindung mit einer Alkylgruppe, die 12, 14 oder 16 Kohlenstoffatome enthält, und einer Aminoxidverbindung mit einer Alkylgruppe, die 14, 16 oder 18 Kohlenstoffatome enthält, ausgewählt ist, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer feinen Metallstruktur, bei der diese verwendet wird, bereitgestellt.
申请公布号 DE112010003895(T5) 申请公布日期 2012.08.02
申请号 DE20101103895T 申请日期 2010.09.29
申请人 MITSUBISHI GAS CHEMICAL CO., INC. 发明人 OHTO, MASARU;MATSUNAGA, HIROSHI;YAMADA, KENJI
分类号 C23F1/00;C23F4/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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