摘要 |
Es werden eine Verarbeitungsflüssigkeit zur Unterdrückung eines Musterzusammenbruchs einer feinen Metallstruktur, die mindestens eine Verbindung enthält, die aus einem Imidazoliumhalogenid mit einer Alkylgruppe, die 12, 14 oder 16 Kohlenstoffatome enthält, einem Pyridiniumhalogenid mit einer Alkylgruppe, die 14 oder 16 Kohlenstoffatome enthält, einem Ammoniumhalogenid mit einer Alkylgruppe, die 14, 16 oder 18 Kohlenstoffatome enthält, einer Betainverbindung mit einer Alkylgruppe, die 12, 14 oder 16 Kohlenstoffatome enthält, und einer Aminoxidverbindung mit einer Alkylgruppe, die 14, 16 oder 18 Kohlenstoffatome enthält, ausgewählt ist, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer feinen Metallstruktur, bei der diese verwendet wird, bereitgestellt.
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