| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches System, das radial verkleinert und gut gegenüber Aberration korrigiert ist und beispielsweise auf eine Aberrationsmessvorrichtung zum Messen einer Wellenfrontaberration eines optischen Flüssigkeitsimmersionsprojektionssystems anwendbar ist. Ein katadioptrisches System eines koaxialen Typs wird mit einem ersten optischen System, das einen Punkt auf einer zweiten Ebene bildet, der mit einem Schnittpunkt mit der optischen Achse auf einer ersten Ebene, welche die optische Achse schneidet, optisch konjugiert, und einem zweiten optischen System, das Licht von dem ersten optischen System zu einer dritten Ebene leitet, versehen. Das erste optische System weist eine erste Reflexionsoberfläche, die an oder nahe der ersten Ebene angeordnet ist, eine zweite Reflexionsoberfläche mit einer Form eines Rotationsellipsoids, dessen zwei Brennpunkte entlang der optischen Achse in einem Zustand fluchtend angeordnet sind, in dem ein Brennpunkt an oder nahe an einem ersten Lichttransmissionsabschnitt angeordnet ist, und ein Medium auf, das einen optischen Pfad zwischen der ersten Reflexionsoberfläche und der zweiten Reflexionsoberfläche füllt. Der erste Lichttransmissionsabschnitt wird in einem zentralen Bereich der ersten Reflexionsoberfläche inklusive der optischen Achse ausgebildet und ein zweiter Lichttransmissionsabschnitt wird in einem zentralen Bereich der zweiten Reflexionsoberfläche inklusive der optischen Achse ausgebildet. Das Medium hat den Brechungsindex von nicht weniger als 1,3. Das zweite optische System weist mehrere Linsen auf.
|
