晶粒吸放装置及其固定座与吸嘴

摘要

一种晶粒吸放装置，包含：固定座与吸嘴。固定座包含：接合部、基部与至少一个定位部。接合部具有一贯串孔，用以接合一真空吸气机；一基部，具有第一底面与第一顶面及至少一个定位部。第一顶面连接于接合部，第一底面具一通道，贯串孔与通道相互连通。定位部连接基部之第一底面而突出于第一底面。吸嘴包含：第二底面、第二顶面、多个流通孔与至少一个定位槽。流通孔穿透第二底面至第二顶面。定位部可对应插入定位槽中而使得基部之第一底面与吸嘴之第二顶面密合，且使得通道的位置对应至流通孔。