多晶矽种晶装置及其生成的多晶矽晶片

摘要

一种多晶矽种晶装置，包含一多晶炉及在多晶炉炉口上方设有至少一可伸缩夹具，可伸缩夹具采耐热材料制作且其前端夹持单晶矽晶种，且可伸缩夹具的伸出长度可通过炉口而达多晶炉之内。前述多晶矽种晶装置所生成的多晶矽晶片结构是在本体内部具有至少一单晶矽晶种，并且于单晶晶种外缘生成一顺化多晶影响层。