用于收集逸散气体的采样装置

摘要

一种用于收集逸散气体的采样装置，该采样装置是用以收集一待测物之表面逸散气体，该采样装包含一个包括有一进气部的外管、一气密件，及一内管。该气密件是套设于该外管上，而该内管是穿设于该外管且具有一采样通道，该内管与该外管相配合界定出一与该该进气部相连通的气体流道。利用该气密件达成气密效果配合该进气部所提供之气体所形成的正压，有效防止待侧物之表面逸散气体的泄漏或是待侧物周围的气体进入该采样通道中，提升待侧物之表面逸散气体采样的精确度。