多雷射系统

摘要

多雷射系统包括用于发射第一雷射光束的第一雷射振荡器、用于发射第二雷射光束的第二雷射振荡器、用于接收从第一雷射振荡器发射的第一雷射光束并且使入射的第一雷射光束偏转至在待处理的基板上的预定位置之第一线对扫描器、用于接收从第二雷射振荡器发射的第二雷射光束并且使入射的第二雷射光束偏转至在待处理的基板上的预定位置之第二线对扫描器、及用于接收从第一及第二线对扫描器偏转的雷射光束之扫描透镜，此扫描透镜将接收的雷射光束聚焦成具有预定直径的光点，以将此光点发射至基板上。