制造不同掺杂区用之多重遮罩及方法

摘要

为了在具有不同掺杂区之基板(S)中藉助于唯一的遮罩(DM)以制成掺杂区(DG)，建议使用多个不同的遮罩区，其分别具有纵向延伸之遮罩开口(MO)，其对一种倾斜式植入之空间角度具有不同的对准方向。基板在第一和第二倾斜式植入之间旋转，其中在第一倾斜式植入时最大和最小遮蔽可在不同的遮罩区域中区别出且在基板旋转之后的第二倾斜式植入中各特性可准确地反向。