银合金、其溅镀靶材及其薄膜

摘要

本发明目的为提供：可形成兼备，即使经由以彩色液晶显示器的制造制程的加热制程，由热劣化的反射率下降非常少而且难以产生由硫化的黄色化2个特性的反射电极膜的Ag-Pd-Cu-Ge系银合金。;关于本发明的银合金系，以Ag作为主成分，Pd含量为0.10~2.89wt%、Cu含量为0.10~2.89wt%、Ge含量为0.01~1.50 wt%，而且Pd、Cu及Ge的合计含量成为0.21~3.00 wt%，具有至少由4元素构成的组成为特征。