发明名称 根据可用量测处理量而动态调整量测抽样之方法及系统
摘要 本发明系大致有关根据可用量测处理量而动态调整量测抽样之各种方法及系统。在一实施例中,该方法包含下列步骤:提供量测控制单元,该量测控制单元适于为至少一个量测作业决定基线量测抽样率;决定可用量测处理量;以及将该所决定的可用量测处理量提供给该量测控制单元,其中该量测控制单元根据该所决定的可用量测处理量而决定新的量测抽样率。
申请公布号 TWI369749 申请公布日期 2012.08.01
申请号 TW094131773 申请日期 2005.09.15
申请人 格罗方德半导体公司 美国 发明人 帕帝 马修A
分类号 H01L21/66;G06F17/11 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项
地址 美国
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