| 摘要 |
课题;提供一种防尘效果高，臂部成为复数也可对应的防尘机构。;解决手段;一种基板搬运装置，其特征为：具备：支撑装载基板的臂部(6)，而且经由设于支柱(9)外面的直线状的开口部(12)连接至设于上述支柱(9)内的引导机构(22)，依照上述引导机构(22)，移动上述开口部(12)的开口的支撑构件(4)，及密封上述开口部(12)，隔离上述支柱(9)内部与外部的密封皮带(5)，藉由上述引导机构(22)即使移动上述支撑构件(4)，构成藉由上述密封皮带(5)也不会把上述支柱(9)的内部露出于外部，上述密封皮带(5)为将其两端固定于上述支柱(9)内部，而且卷装于可旋转地支撑于上述支撑构件(4)的滚子(35～42)，设置架设成密封上述开口部(12)。 |
