| 摘要 |
本发明之目的在于提供一种无须延长装置尺寸，而可高效率地于中途改变基板之搬送速度的搬送技术。当越过串列配置之两个搬送机构的边界而搬送基板时，于包含基板90在该边界上移动并进行接收之接收期间(时间T15~时间T16)的时段(时间T11~时间T12)中，进行使两个搬送机构之搬送速度整合且减速的同步控制。藉由使该减速过程中之时间-速度的关系成为S字曲线，可防止施加于基板90上之加速度的急遽变化。又，藉由将接收期间用作减速期间，从而，与在此之前完成减速、或在基板接收后开始减速之情形相比，其搬送效率可更高。 |
