透明导电膜之形成方法与透明电极

摘要

本发明之课题系提供，在低温烧成，低电阻且具有高透过率之透明导电膜之形成方法及透明电极。;本发明之解决手段系含有选自铟，锡，锑，铝及锌之金属微粒子，该等金属2种以上之金属所成合金之微粒子，或该等微粒子混合物之分散液涂布于基材后，在真空氛围，惰性气体氛围，还原性氛围中烧成，其后，在氧化性氛围中烧成。于此氧化性氛围中烧成后，进而以还原性氛围烧成亦可。惰性气体氛围系选自稀有气体，二氧化碳及氮之气体氛围，还原性氛围系选自氢，一氧化碳及低级醇之气体氛围。藉由上述方法所形成之透明导电膜所成透明电极。