薄膜电晶体阵列基板及其制造方法

摘要

【课题】本发明的目的在获得一种于源极/汲极电极的界面中，接触特性佳之薄膜电晶体(TFT)阵列基板及其制造方法。;【解决手段】本发明之TFT阵列基板系具有包含欧姆接触膜8、及形成在前述欧姆接触膜8之源极电极9及汲极电极11的TFT108。此外，具有与汲极电极11电性连接的像素电极18。此外，源极电极9及汲极电极11系藉由含有Ni作为添加元素的Al合金所形成。