一种多元金属氧化物气敏传感器气敏元件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多元金属氧化物气敏传感器气敏元件及其制备方法。本发明主要是采用电纺丝静电场组装方法在梳齿电极上沉积纳米丝状壳核结构材料，采用低温水热负载方式在梳齿电极上的壳核结构外层包覆气敏薄膜源材料，再进行热处理合成气敏材料。本发明制得的元件上有定向排列近单层金属氧化物复合纳米丝/纳米管气敏材料，可直接装配成气敏传感器，使用方便且具有良好的气敏灵敏度和选择性。制备方法简单，具备显著的经济和社会效益。

主权项

一种多元金属氧化物气敏传感器气敏元件的制备方法，其特征在于：所述的制备方法包括以下步骤：采用电纺丝静电场组装方法在梳齿电极上沉积纳米丝状壳核结构材料；采用低温水热负载方式在梳齿电极上的壳核结构外层包覆气敏薄膜源材料；对步骤（2）的梳齿电极进行热处理合成气敏材料。