氮化铝单晶的制备装置

摘要

本实用新型公开了一种氮化铝单晶的制备装置，包括升降托盘、升降托盘上的坩埚和套在坩埚外的多孔的保温层，以及石英玻璃套管、感应加热线圈和第一密封连接件、第二密封连接件，所述石英玻璃套管套在所述保温层和坩埚外，所述感应加热线圈套在石英玻璃套管的外壁上，第一密封连接件位于石英玻璃套管下端与升降托盘之间，第二密封连接件位于石英玻璃套管上端之上，所述石英玻璃套管的下端口和上端口分别由第一密封连接件和第二密封连接件实现密封。该装置便于对氮化铝生长过程中的晶体形态进行实时监测，从而更好地控制氮化铝生长形态，以生产出低位错、高质量的单晶。

主权项

一种氮化铝单晶的制备装置，包括升降托盘、升降托盘上的坩埚和套在坩埚外的多孔的保温层，其特征在于，还包括石英玻璃套管、感应加热线圈和第一密封连接件、第二密封连接件，所述石英玻璃套管套在所述保温层和坩埚外，所述感应加热线圈套在石英玻璃套管的外壁上，第一密封连接件位于石英玻璃套管下端与升降托盘之间，第二密封连接件位于石英玻璃套管上端之上，所述石英玻璃套管的下端口和上端口分别由第一密封连接件和第二密封连接件实现密封，所述石英玻璃套管由中空的石英内管和石英外管以及石英内管和石英外管间的冷却水组成。